±Ø¼ÒÀüÀÚ±â°è½Ã½ºÅÛ(MEMS; Micro Electro-Mechanical Systems)Àº ¿äÁò Á¾Á¾ µè°í º¸´Â ´Ü¾îÀÏ °ÍÀÌ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶±â¼ú(¿©·¯ °³ÀÇ ºÐ¸®µÈ ÃþÀ» Á¦ÀÛÇÏ´Â ¿¡Äª±â¼ú, °¨±¤±â¼ú µî)À» ±Ø¼Ò ±â°è±¸Á¶¹°ÀÇ Á¦ÀÛ°ú ±Ø¼Ò ºÎ¼Óȸ·ÎÁ¦ÀÛ¿¡ Àû¿ëÇÑ °æ¿ì·Î¼ ´Ù¾çÇÑ ÀÀ¿ë Á¦Ç°µéÀÌ ¼Ò°³µÇ¾ú°í ƯÈ÷, À§Ä¡³ª º¯À§¸¦ Àд ¼¾¼´Â ´Ù¾çÇÑ ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ǿ¡ Æø ³Ð°Ô Àû¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù.
(Ãâó : http://www.memx.com/images/ratchet.jpg)
ºø ¸ð¾çÀÇ µÎ ±ØÆÇ ±¸Á¶¹°¿¡ º¯À§°¡ »ý±â¸é µÑ »çÀÌ Á¤Àü¿ë·®ÀÇ º¯È¸¦ Àо´Â ÃʼÒÇü °¡¼Ó¼¾¼(Acceleration Sensor)´Â ÈçÈ÷ ¸ð¹ÙÀϱâ±â¿¡ ³»ÀåµÇ¾î »ç¶÷ÀÇ °ÉÀ½À̳ª ¿îµ¿·®À» ÃøÁ¤ÇÏ°í ÀÚµ¿Â÷ ¿¡¾î¹é ½Ã½ºÅÛ¿¡¼´Â °¡°¨¼ÓµµÀÇ º¯È·®À» ȹµæÇÏ¿© 󸮽ýºÅÛ¿¡ Àü´ÞÇÑ´Ù. ±×¸®°í ÁÖÂ÷ Áß ÀÚµ¿Â÷ Ãæ°Ý°¨½Ã³ª EDR(»ç°í±â·ÏÀåÄ¡, Event Data Recorder)½Ã½ºÅÛ, °£ÀÌÇü ÁöÁø°è¿¡µµ È°¿ëµÇ°í ÀÖÀ¸¸ç Áö±¸Áß·Â(ñÉ)À» ÀÌ¿ëÇÏ¿© Àý´ë¼öÆò, Àý´ë¼öÁ÷ °¢µµ, ÀÓÀÇÀÇ °æ»ç°¢µµ¸¦ ÃøÁ¤ÇÒ ¼öµµ ÀÖ´Ù.
* ´ÜÀ§´Â 'g(Gravity)'ÀÌ°í 1g´Â Åë»ó9.8m/sec^2ÀÌ´Ù. ÅëĪÇÏ¸ç ±ØÁ¡°ú Àûµµ¸é¿¡ µû¶ó ±× °ªÀÌ ¾à°£¾¿ ´Ù¸£´Ù.
±0.5g, ±1g, ±2g µî ÃøÁ¤°¡´ÉÇÑ °¡¼ÓµµÀÇ Àý´ë·®°ú ºÐÇØ´É, ÀÎÅÍÆäÀ̽º ¹æ¹ý, µ¿½Ã ƯÁ¤ °¡´ÉÇÑ Ãà(Axis)¿¡ µû¶ó
¿©·¯°¡Áö Á¦Ç°µéÀÌ ÀÖ´Ù.
ÇÑÆí ÀÌ MEMS ±â¼úÀº ¹æ¼ÛÀåºñ¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â Æĵ¿¿¡³ÊÁö ÇÊÅÍ·ù, ¼ÒÇü ¾Ð·Â¼¾¼ Á¦ÀÛ, 3Â÷¿ø ¸ð¼¾¼¾¼¸µÀ» ÀÌ¿ëÇÏ´Â ¿ø°ÝÁ¦¾î ³»Áö ÀÎÅÍÆäÀ̽º, ÈçÈ÷ ³ª³ë¸Ó½Å(Nano Machine)À̶ó ºÒ¸®¿ì´Â À§ »çÁø°ú °°Àº ±Ø¼ÒÇü µ¿ÀÛÀåÄ¡³ª ·Îº¿ Á¦ÀÛ¿¡µµ È°¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù. ¿äÁö´Â, À§Ä¡º¯È³ª ¿îµ¿·®ÀÇ º¯È ¿Ü ÇÇ¿¡Á¶ ¿îµ¿À» ´ëüÇÏ´Â ºÐ¾ß µî¿¡ ÀÖ¾î¼ MEMS±â¼úÀÇ ¿ëµµ´Â ½Ç·Î ¹«±Ã¹«ÁøÇÏ´Ù.
ÀÌ MEMS ¼¾¼µéÀº 20¿© ³â Àü¿¡´Â ÈçÇÏÁö¾ÊÀº °í°¡ÀÇ Á¦Ç°À̾úÀ¸³ª ÀÌÁ¦´Â º¸ÆíÈµÈ ¼Ö·ç¼ÇÀÌ µÇ¾ú°í ƯÈ÷, 2008³â ÀÌÈÄ ¸ð¹ÙÀÏÀÇ ±Þ¼ÓÇÑ È®»ê°ú ¸Â¹°·Á Àú°¡, ±Ø¼ÒÇü Á¦Ç°µéµµ ¸¹ÀÌ ¼Ò°³µÇ¾ú´Ù. °¡Àå ÈçÈ÷ »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Â °¡¼Óµµ¼¾¼ÀÇ ³»ºÎ±¸Á¶´Â ´ÙÀ½°ú °°´Ù.
(°¡¼Óµµ ¼¾¼ÀÇ Comb, Ãâó : https://s-media-cache-ak0.pinimg.com)
¾ð±ÞµÈ ¹Ù¿Í °°ÀÌ µÎ °³ÀÇ Comb Type Plate(ºø»ì ¸ð¾ç ±ØÆÇ) Áß Çϳª´Â °íÁ¤ÇÏ°í ´Ù¸¥ Çϳª°¡ Áß·ÂÀ̳ª °¡°¨¼Óµµ¿¡ ´ëÀÀÇÏ¿© À§Ä¡°¡ ¹Ù²ð ¶§ µÑ »çÀÌ ±ØÆÇÁ¤Àü¿ë·®(Q°ª)ÀÌ ¹Ù²î´Â Ư¼ºÀ» ÀÌ¿ëÇÑ´Ù. ÀÌ °ªÀÇ º¯È¸¦ ADC(Analog to Digital Converter)·Î ÀÐ°í ±âº» ¼±Çü¼ºÀ» º¸ÀåÇϱâ À§ÇØ ÀÏÁ¤ÇÑ º¸Á¤°ªÀ» Àû¿ëÇÑ ÈÄ ¿Âµµº¸»óÀ» ÇÑ ÈÄ Ãâ·Â´ÜÀÚ¿¡¼ ÀûÀýÇÑ ºñÆ®°ªÀ» Á¦½ÃÇϵǵµ·Ï µÇ¾î ÀÖ´Ù. ÇÑ °³ÀÇ ¼¾¼·Î ÃøÁ¤ÇÒ ¶§ »ý±â´Â Àý´ë¿ÀÂ÷¸¦ º¸Á¤Çϱâ À§Çؼ ´ÙÃà ¼¾¼(3°³, 6°³ ±× ÀÌ»ó)¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ´Â ¾Ë°í¸®ÁòÀ» Àû¿ëÇϱ⵵ ÇÑ´Ù. ¾Æ·¡ ÀÚ·á´Â 2~3 ´Þ·¯¸é ±¸ÀÔÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹Ì±¹ ST»çÀÇ 3Ãà MEMS °¡¼Óµµ¼¾¼ÀÇ »ç·Ê.
Àü¿øÀ» Àΰ¡ÇÏ°í SDO/SA0/SDA/SDI µî ÁöÁ¤µÈ ÆÇ¿¡ ¸í·ÉÀ» ÁÖ°í µ¥ÀÌÅ͸¦ ¹ÞÀ¸¸é °ð¹Ù·Î ÇöÀç »óŸ¦ ºñÆ®°ªÀ¸·Î ¹Þ¾Æº¼ ¼ö ÀÖ´Ù. Àý´ëÁ¡ °üÃø¿¡ ÀÖ¾î¼, ¿¹¸¦ µé¾î IC°¡ ±×¸²¿¡¼¿Í °°ÀÌ À§Ä¡ÇÏ´Â °æ¿ì·Î¼ ZÃàÀº Áö±¸Áß·ÂÀÇ °ª¿¡ »ó´çÇÏ´Â 1gÀÌ´Ù. ÇÑ °³ÀÇ Ãà¿¡ ´ëÇÏ¿© ¹æÇ⼺Àº + ¶Ç´Â -·Î Ç¥±âÇÏ°í 3°³ ÃàÀ» º¤ÅÍ¿¬»êÇϸé 3Â÷¿ø °ø°£»ó¿¡¼ ¼¾¼¸¦ °øÁß¿¡ ´øÁ³À» ¶§ ±× ±ËÀûÀ» Ãß·ÐÇس¾ ¼öµµ ÀÖ´Ù.
¹Úżö, audiopub.@naver.com